真空燒結爐的這些操作大家了解嗎
真空燒結爐的這些操作大家了解嗎
真空燒結爐是指在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子,其加熱方式比較多,如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。關于它的操作很多用戶都有些疑問,那么,它是怎么操作的呢?這次我們就一起看看。
一、真空燒結爐操作流程
1、通電前檢查
通電前,檢查真空燒結爐各開關是否放在(關)位,升溫方式為“手動”,功率調節逆時針旋到頭(低)。確認無誤后再根據工藝要求的順序來啟動機械泵、擴散泵。
2、測量爐內真空度
根據真空計的操作進行,當達到要求的真空度時,才能加熱升溫。
3、抽真空
緊閉所有的真空閥門,啟動機械泵,待其運轉正常后,打開通向爐體的低真空閥,預先對爐體抽氣,此閥打開時應緩慢,以免機械泵排氣口處有油噴出。
4、打開真空閥
真空燒結爐爐體抽真空的同時,打開真空閥,對擴散泵抽氣,當真空度達到15Pa后,先開啟擴散泵上的冷卻水,然后對擴散泵加熱,一般經過45分鐘左右擴散泵起作用,就可關上通向爐體的真空閥,打開真空閥,真空度很快可以達到1.33×10-1Pa以上,即可對電爐通電加熱。
5、加熱
次加熱因放氣較多,真空度容易下跌,另外工件加熱放氣也使真空下跌,所以要慢慢升溫真空度下跌到1.5帕停止加熱,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加熱。因擴散泵低于20帕就無法工作,另外擴散泵油在太低真空下易氧化,導致擴散泵無法作用。也可在低真空下加熱除氣,等放氣基本結束,再開高真空。另外電爐在不用時抽真空狀態下保存,下次抽氣快些。欲停止抽真空,應先關閉高真空閥,然后停止加熱,1個半小時后,關閉低真空閥,停止機械泵運轉,只有在擴散泵冷卻之后,才切斷其冷卻水供應。
6、手動升溫
在爐溫200℃以下先用手動方式升溫,否則控溫不準。在真空狀態下按加熱啟動按鈕,緩慢調節手動功率(順時針方向),使電流慢慢上升,禁止超過次額定電流1100A,電爐溫度隨之上升。1000-2000℃,可采用紅外自動控制爐溫。
7、降溫
降溫可按預先設定的程序控制降溫,也可直接把加熱關閉讓其自行降溫。但降溫過程中不允許停水,否則真空燒結爐爐體密封圈會燒壞。
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